铱扩产潮带动专用设备快速发展

集微网消息，石墨牵引力晶体管在汽车等高性能正加速渗透，展现巨大美国市场紧致，也更是各路厂商加大扩产针对性，继Wolfspeed首条8英寸线投产后，博世上市的公司、Rohm、英飞凌、东芝近来也纷纷宣布了石墨产线的扩建、新建计划。

与基本上钨晶圆产线相比，石墨制造手工带来了对电子系统的各有不同需求。

意法半导体零组件牵引力晶体管项目主管Giuseppe Arena坚引述，由于宽带透材料特有的物理化学特性，石墨制造手工在具体来说生长、离子注入、高温退火等每一集与基本上钨基牵引力晶体管有较小各有不同，能够专门的腔室等计算机系统其设计以控制毛病、提高烯烃，在刻蚀、减薄等每一集也能够一般来说工具执行。

随着手工和电子系统走向成熟，一些IDM中小企业正选择将遥遥领先的6英寸钨晶圆产线，改扩建为石墨产线，业界专家估计仅需2000万美元的海外投资优化手工，订购少量专用电子系统，就能够完成这样的产线改扩建。

目前这一领域也开始出现分工专业化苗头，X-Fab等中小企业已为人所知石墨厂商其业务。

位于英国苏格兰的Clas-SiC就开通着一条6英寸石墨厂商产线，产线上有10-15%是专用的石墨电子系统，其余大部分电子系统翻新自钨晶圆产线，该的公司负责人Rae Hyndman坚引述，石墨业界订购二手电子系统同样接踵而来交期瓶颈。

石墨美国市场前景看好，也更是电子系统大厂在这一领域加大投入，泛林新技术专家David Haynes坚引述，针对钨晶圆手工开发计划的电子系统，在执行石墨薄膜时接踵而来的协同挑战就是后者在红外线和近红外区外近乎透明，监测计算机系统能够针对性可用性。

另一电子系统巨头应用材料也已另一款多款专用石墨电子系统，其针对石墨一般来说物理化学特性其设计的CMP电子系统据引述可明显降低石墨晶圆表面毛病，盛美的公司其业务发展总监Sally Ann Henry分析引述，目前石墨专用电子系统美国市场仍然处于早期发展阶段，大部分IDM仍开通6英寸产线，原定新建的8英寸火力发电将在2024年开始集中释放，对于躯干厂商而言，“兼容的电子系统”（bridge tools）将具更是力，这样的电子系统可以不须在6英寸产线借助于，由于其加装有最不须进的监测计算机系统，在更换刀具、上下料等计算机系统后可以快速适配愿景的8英寸产线。（校对/朱秩磊）